高频淬火工件的软点包括表层局部没有淬硬的残留软点和硬化层深度不均匀的深度软点两种。这些硬度缺陷由于材料选择不当，原始组织不良，高频淬火加热的电参数、感应器和冷却装置不当等因素所造成的。
高频淬火多用于中碳结构钢和低碳中合金结构钢，由于高频淬火加热是快速加热，奥氏体中的碳来不及通过扩散而未充分均匀化，因此，含有Cr、Mo、W、V等碳化物形成元素的钢，由于相变点较高，高频感应加热淬火时，易产生软点和硬度不均匀，选择高频淬火用钢时，应考虑上述元素不要超过一定含量。
钢中碳化物类型、形态、尺寸及分布对高频淬火工件的质量有显著影响。钢中有网状碳化物、碳化物尺寸过大并分布不均匀时，易产生硬度不均匀和硬度不足等缺陷。因此高频淬火受预先热处理的影响很大，高频淬火最佳原始组织是调质处理的回火索氏体。
高频感应圈不均匀时，也会导致淬火硬度不足，喷射角度不当，喷射孔大小、数量位置不合理或喷孔被堵塞时，往往导致高频淬火工件硬度不足或形成软点。
渗碳工件硬度不足和软点多由渗碳不足、淬火时脱碳、淬火温度过低、淬火冷却速度不足、表面残余奥氏体量过多、回火过度、工件表面不清洁、渗碳不均匀或冷却不均匀造成。